直接上手euv技术，先从光源研究。” “光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成。” “最初光刻机，是采用汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line作为光刻光源。后来采用248nm的krf准分子激光作为光源，将最小工艺节点提升至350-180nm水平。” “但是，再往下其实就很难了。” “据我了解，新技术处在一个变革的关键，事实上所谓的asml的euv机器，其实根本是个束之高阁的东西无，无法真正应用。” “市场上，还没有一家企业购买过！” “在公司内部，具体细节不清楚，但很显然有重大技术难题他们没有突破。” “光刻机是个小市场，一年卖几十台的就算大厂了。现在半导体晶圆工厂拢共也没有多少。一台机器还能有好些年。” “但是，投资又很巨大。资本回报率很低。在国际上，除非是战略考量，并且当做一张关键外交牌来打，否则单纯为钱，是没有企业愿意做的。” “00年的时候，杰奔尼康在这个领域中，是绝对霸主。” “可是在今年，asml的市场占有率，已经达到七成！” “asml具体的发展思路规划，咱们并不清楚。不过，这家企业，八十年代三十几个人开始在飞利浦那边做起。” “这么短时间，直接走上霸主地位。背后依靠的，自然就是超前一步的发展方向。” “97年，英特尔搞了个euvllc合作组织。由优丝官方牵头、集合了摩托摩拉、amd、以及优丝著名的几家实验室，劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室、桑迪亚国家实验室。” “投资数亿元，集合数百位顶尖科学家搞理论研究。” “amsl也加入了这个项目中，给优丝发了一大堆誓言，比如亲爱的爸爸，你是我永远的明灯之类的。因为，除了他们，没有其他国家光刻机企业加入。” 众人闻言，纷纷笑了起来。 优丝的霸道，大家伙心知肚明。你要是不给人家当奴隶，而且是那种我累死累活，吃不饱穿不暖勉强活着的奴隶，否则，优丝不介意直接让你成为最后的莫西干人。 “从97到03年，项目组科学家发表了数百篇论文，验证了euv光刻机的可行性。” “然后，asml就开始做了。06年，搞出了原型机。07年，建造了一万平米的超级无尘室。” “接着，就连续几年宣传出现了真正的机器。不过，市场不会骗人。没有企业购买，显然技术有问题。” “但是我想，时间已经很紧了。从我的信息渠道来看，三五六年，机器可能会进入晶圆工厂。” 曹嘉许皱眉说道：“老大，不会这么夸张吧。” “euv算是软x光，穿透物体时，散射吸收非常厉害。光刻机得需要非常强的光源，并且内部还要做成真空的。” “几纳米的精度要求。对光的集中度要求很高。相当于拿手电筒照射到月球，光斑不超过一枚硬币。” “反射要求，反射要求的镜子要求长30cm起伏不到0.3nm。比我们搞高精度的数控机床还难无数倍。应该是人类精密制造的最尖端了。” “提供这些技术的是cymer公司，这家公司近来发展非常不好。而且现在还是经济危机，全球半导体产业影响也不少。” “时间会比较紧张的吧？” 曹嘉许在启天科技公司，是数二的光学领域大牛。本身是超级学霸天才，这些年来参与项目不少。自己也搞了许多手机镜头模组的项目组。 对于业内相关信息，知道的很清楚。 辛启天轻轻摇头，“是这样的，不过asml已经有收购cymer的打算了。收购不会很快达成，得优丝官方爸爸点头。然而cymer马上会获取一大笔研发资金。” “另外，具体他们的研究进度，其实并非常顺利！” 这些信息的获取渠道，辛启天不会讲出来。尽管如此，大家却都没有任何怀疑。辛老大的能耐，众人还是佩服的。ｍ.ｂoＷｕｃhiｎＡ.CＯｍ